ICP-ms質(zhì)譜儀是測量離子質(zhì)荷比的分析方法，離子質(zhì)荷比即質(zhì)量-電荷比。其遵循樣品導(dǎo)入→離子源→分析器→檢測器的方式，將樣品導(dǎo)入離子源中發(fā)生電離，生成帶電荷離子，然后運(yùn)用加速電場將離子束引入分析器中，再利用電場和磁場使其發(fā)生相反的速度色散，再將它們聚焦起來而得到質(zhì)譜圖，從而確定其質(zhì)量。而
ICP-ms質(zhì)譜儀則是在這之后增加了數(shù)據(jù)處理和控制系統(tǒng)、并可以將有效數(shù)據(jù)上傳至云服務(wù)器，達(dá)到遠(yuǎn)程、實時查看及數(shù)據(jù)分析的目的。
ICP-ms質(zhì)譜儀主要是指分離和檢測不同同位素的儀器。即根據(jù)帶電粒子在電磁場中能夠偏轉(zhuǎn)的原理，按物質(zhì)原子、分子或分子碎片的質(zhì)量差異進(jìn)行分離和檢測物質(zhì)組成的一類儀器。
ICP-ms質(zhì)譜儀zui重要的應(yīng)用是分離同位素并測定它們的原子質(zhì)量及相對豐度。測定原子質(zhì)量的精度超過化學(xué)測量方法，大約2／3以上的原子的質(zhì)量是用質(zhì)譜方法測定的。由于質(zhì)量和能量的當(dāng)量關(guān)系，由此可得到有關(guān)核結(jié)構(gòu)與核結(jié)合能的知識。對于可通過礦石中提取的放射性衰變產(chǎn)物元素的分析測量，可確定礦石的地質(zhì)年代。ICP-ms質(zhì)譜儀還可用于有機(jī)化學(xué)分析，特別是微量雜質(zhì)分析，測量分子的分子量，為確定化合物的分子式和分子結(jié)構(gòu)提供可靠的依據(jù)。由于化合物有著像指紋一樣的*質(zhì)譜，質(zhì)譜儀在工業(yè)生產(chǎn)中也得到廣泛應(yīng)用。
